調(diào)查可知，靜電是凈化車(chē)間最難控制的因素之一，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設(shè)備的可靠性。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，所有的制造階段都需要防止靜電對(duì)器件的作用。消除靜電的方法很多，對(duì)有防靜電環(huán)境要求的凈化車(chē)間工程，常用以下幾種方法：
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一、選用合適的材料：
1．凈化車(chē)間裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時(shí)，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。
2．導(dǎo)體是電流能通過(guò)的材料，絕緣體是電流不能通過(guò)的材料。
3．所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體。
二、濕度控制：
在眾多消除靜電的方法中，室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來(lái)減少和消除凈化車(chē)間靜電。通過(guò)在環(huán)境中保持高的相對(duì)濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來(lái)提供導(dǎo)電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過(guò)該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤(rùn)滑性，摩擦生電也將減少。一般來(lái)說(shuō)，濕度越低，產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時(shí)也會(huì)產(chǎn)生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環(huán)境中，生產(chǎn)人員可能會(huì)感覺(jué)十分不舒服，零部件可能生銹，并產(chǎn)生可焊性問(wèn)題。同時(shí)，企圖用濕度控制來(lái)消除靜電的方法顯然是高耗費(fèi)的，尤其在干燥地區(qū)更是如此。
三、接地：
接地是帶電導(dǎo)體消除靜電最為普遍、經(jīng)濟(jì)、簡(jiǎn)便、可靠的方法。
1．凈化車(chē)間內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。
2．電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
3．工藝設(shè)備接地。
4．辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電的材料制成并接地。
5．工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無(wú)塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
四、中和：
靜電消除器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來(lái)消除。將帶電體(靜電)周?chē)目諝怆x子化后，帶電的離子在電磁場(chǎng)作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達(dá)到中和而消除靜電。
綜上所述，凈化車(chē)間對(duì)建造單位的專業(yè)度要求很高，選擇在凈化工程領(lǐng)域年資較長(zhǎng)的單位進(jìn)行建筑設(shè)計(jì)和建造非常必要。上海西遞實(shí)業(yè)有限公司，總部位于上海市閔行區(qū)蘇虹路333號(hào)虹橋萬(wàn)通中心C座3樓，公司注冊(cè)資金5000萬(wàn)，擁有設(shè)計(jì)乙級(jí)資質(zhì)，施工建筑總承包三級(jí)資質(zhì)，裝飾裝修二級(jí)資質(zhì)、機(jī)電安裝三級(jí)資質(zhì)、凈化一級(jí)資質(zhì)、環(huán)保及鋼結(jié)構(gòu)三級(jí)資質(zhì)。公司主要業(yè)務(wù)范圍為：實(shí)驗(yàn)室EPC工程、潔凈室EPC工程、動(dòng)物房EPC工程、手術(shù)室EPC工程。截至2020年，CEIDI西遞已經(jīng)在實(shí)驗(yàn)室、潔凈車(chē)間及工業(yè)裝修領(lǐng)域?yàn)閿?shù)百家企業(yè)打造標(biāo)桿工程，累計(jì)施工面積超過(guò)100萬(wàn)平方米。為各類高科技企業(yè)提供無(wú)塵車(chē)間、超凈車(chē)間、潔凈工程、無(wú)塵廠房、GMP無(wú)菌廠房、醫(yī)院潔凈手術(shù)室、光電凈化廠房等從十級(jí)至十萬(wàn)級(jí)空氣凈化系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試、檢測(cè)等綜合服務(wù)。
2020-08-10
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