具體來說，以下是芯片無塵車間一般要求的凈化等級：
10級：不超過0.5微米的粉塵顆粒數(shù)量不得超過35萬個/m³;5微米的顆粒數(shù)量不得超過3500個/m³。
100級：不超過0.5微米的粉塵顆粒數(shù)量不得超過3.5萬個/m³;5微米的顆粒數(shù)量不得超過350個/m³。
1000級：不超過0.5微米的粉塵顆粒數(shù)量不得超過35萬個/m³;5微米的顆粒數(shù)量不得超過29個/m³。
需要注意的是，不同類型的芯片制造可能有不同的凈化等級要求，具體需求應(yīng)根據(jù)實際情況進(jìn)行調(diào)整。同時，除了凈化等級外，還需要注意空氣流動、溫度、濕度等因素對于芯片制造的影響，以確保芯片生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定性和可靠性。
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2023-04-06
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